刻蚀机与光刻机有什么区别？

2026-04-25

蚀刻相对于光刻来说要容易一些。光刻机把图案印上去，然后蚀刻机根据印上去的图案蚀刻掉有图案（或者没有图案）的部分，留下剩余的部分。 “光刻”是指在涂满光刻胶的晶圆（或者叫硅片）上盖上事先做好的光刻板，然后用紫外线隔着光刻板对晶圆进行一定时间的照射。原理就是利用紫外线使部分光刻胶变质，易于腐蚀。 “蚀刻”是光刻后，用腐蚀液将变质的那部分光刻胶腐蚀掉（正胶），晶圆表面就显出半导体器件及其连接的图形...