洁净室净化工程设计

2026-05-04

根据洁净室净化工程拟生产的产品的门类、品种或使用情况，确定所设计洁净室净化工程的控制对象及技术要求。如对生物洁净室净化工程，其控制对象是空气中的尘粒、微生物；面不同产品或用途的生物洁净室净化工程，对空气洁净度等级、空气中含有的微生物种类和浓度、压差等的要求是不同的。又如集成电路生产用洁净室净化工程．其控制对象主要是空气中的尘粒；按集成电路的特征尺寸、集成度的不同，对空气洁净度等级、防微振、高纯物质等的要求是不同的，应按照具体工厂的产品品种确定。 为确保洁净室净化工程内所必须的空气洁净度...