光刻机上市公司龙头股票有：

　　1、清溢光电（688037）：光刻机龙头。半导体设备开发研制。

　　2、芯源微（688268）：光刻机龙头。特种气体龙头企业。

　　3、华特气体（）：光刻机龙头。

　　光刻机概念其他的还有： 怡达股份、胜利精密、宝通科技、ST澄星、捷捷微电、晶方科技、广信材料、江化微、蓝英装备、容大感光、英唐智控、高盟新材等。

　　本文相关数据仅供参考，不构成投资建议。力求但不保证数据的完全准确，如有错漏请以中国***指定上市公司信息披露媒体为准，据此操作，风险自担。

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